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Vakuum- und Schutzgasöfen
Prozesstemperaturen bis 3000 °C und Drücke bis 250 bar
Die Ofenauskleidung dieser Anlagen ist prozessbedingt graphitisch oder metallisch. Die Beladung erfolgt von der Seite, von unten (Bottomloader) oder von oben (Toploader).
Toploader SFTL
Bottomloader SFBL
Häufige Anwendungen:
Silizieren
Herstellung von Aluminiumnitrid
Herstellung von Siliziumcarbit SiC
Herstellung von Siliziumnitrid SN
Carbonisierung
Reinigungsöfen
Hier entstehen kundenspezifische Lösungen.