Hochtemperatur- und Vakuumanlagenbau
english
CN




Vakuum- und Schutzgasöfen

Vakuum mit CFC-Box
Prozesstemperaturen bis 3000 °C und Drücke bis 250 bar

Die Ofenauskleidung dieser Anlagen ist prozessbedingt graphitisch oder metallisch. Die Beladung erfolgt von der Seite, von unten (Bottomloader) oder von oben (Toploader).
Toploader  SFTL
Klick for download.. Vacuum furnace 2300 °C
Bottomloader SFBL
Klick for download..
Vacuum furnace 2200 °C


                         
Häufige Anwendungen:
  • Silizieren
  • Herstellung von Aluminiumnitrid
  • Herstellung von Siliziumcarbit SiC
  • Herstellung von Siliziumnitrid SN
  • Carbonisierung
  • Reinigungsöfen
SI_ofen.jpg

Hier entstehen kundenspezifische Lösungen.

  • Vakuumofen (Öl-Diffusionspumpe) bis 2500 °C
  • Hoch-Vakuumofen metallisch ausgekleidet
  • Sinterofen 2300 °C
  • Hoch-Vakuumofen 2200 °C